Root’s pump 為一種高抽氣速率, 但壓縮比較低, 無法將 chamber 抽至較佳的底壓. Rotary pump 可提供較高的壓縮比, 可使 ch......(詳全文)
發表時間：2009-11-27 11:21 | 人氣：1460 | 回應：1
由步進馬達控制 throttle valve 開關面積大小, 藉以調整 pumping speed, 用以維持一定的真空壓力, 以控制化學沉基的速率. [宸韓科技]...(詳全文)
發表時間：2009-11-27 10:46 | 人氣：4331 | 回應：0
