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一般金屬濺鍍 (sputter) 機台的工作底壓 (base pressure) 為 E-8, 為什麼需要裝置至少兩種以上的真空壓力計 (vacuum gauge)?
 

 高真空的工作範圍. 

一般公司所用真空計大約有下列幾種

1、派拉尼真空計(pirani gauge):

目前使用最廣泛粗真空真空計 ,使用範圍760torr(一大氣壓)~5*E-4torr, 在E-4torr範圍真空誤差約26%

2、冷陰極離子真空計 ( cold cathode ion gauge):

目前使用最廣泛高真空真空計之一,   使用範圍E-3torr~E-9torr, 在E-3torr~5E-4torr範圍真空誤差約26%

3、熱陰極離子真空計 ( hot cathode ion gauge):

目前使用最廣泛高真空真空計之一,   使用範圍1*E-3torr~E-10torr, 缺點:使用壽命短,當有通氧氣時離子加熱燈絲易燒斷

4、電容薄膜式真空計 (capacitance diaphragm gauge):

目前使用最精準,線性度最高真空真空計,   使用範圍依需求而不同規格常用規格1.torr~1*E-3torr;0.1torr~1*E-4torr

缺點:價格貴;使用範圍小

 

refer to:

http://tw.knowledge.yahoo.com/question/question?qid=1008052604143