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2009-11-27 10:46:48| 人氣7,466| 回應0 | 上一篇 | 下一篇
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節流閥 (throttle valve) 的工作原理與目的為何?

由步進馬達控制  throttle  valve  開關面積大小,  藉以調整  pumping  speed,  用以維持一定的真空壓力,  以控制化學沉基的速率.

 

[宸韓科技]

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#開關#面積#大小#步進#馬達#化學#沉基#真空#壓力
台長： CAstro
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