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2009-11-27 11:17:03

何謂 Self Bias: Vdc?

所謂Self Bias是指在RF印加部發生之DC成分電壓。•為達成非等向性蝕刻，必須使粒子的能量具方向性。此非等向性的蝕刻由電極上方的離子界面層電場得來。RIE即利用Self Bias使荷電粒子的能量...
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2009-11-27 10:46:48

節流閥 (throttle valve) 的工作原理與目的為何?

由步進馬達控制 throttle valve 開關面積大小, 藉以調整 pumping speed, 用以維持一定的真空壓力, 以控制化學沉基的速率.[宸韓科技]
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2009-11-27 10:45:34

何謂電漿 ?

氣體分子被加以高溫、加速電子或放射線等能量時，會解離為電子、離子、中性粒子。當持續加入能量時，氣體會解離為帶電荷粒子狀，造成各種離子、電子與中性原子或分子共同存在的狀態，稱之為電漿。在氣體裡施加各種周...
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2009-11-27 10:44:29

電漿的基本性質?

弱電離氣體是由電子（密度Ne/個cm3）、負離子（密度N¯/個cm3）、正離子（密度N+/個cm3）與中性粒子（密度Ng/個cm3）混合而成之氣體。一般電漿內， N+＝Ne + N¯正離子＝電子+負...
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2009-11-27 10:25:35

何謂絕對壓力? 何謂計示壓力?

絕對壓力: 氣體分子運動所造成實際的壓力讀值. 即當完全無壓力時, 其絕對壓力值即為零. 在絕對壓力系統中不可能有負值的壓力. 計示壓力: 是以一大氣壓作為零點. 計示壓力和絕對壓力間的關係為 絕對壓...
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