無塵室的設計準則(無塵室的平面設置)
1、準無塵區(需達到一定潔淨度或只有潔淨送風要求)
◇人員淨化
◇物料淨化
◇無塵室外走道
2、 無塵區(需達到一定潔淨度級別)
◇無塵室
◇無塵室內走道
3、支援系統區—(沒有潔淨級別的要求，也無潔淨送風的要求)
◇空調淨化機房
◇支援系統夾層
◇純水設備區
◇氣體淨化區
無塵室的平面設置種類
1、外走道環繞式：外走道可以有窗或無窗，以兼作參觀走道。
2、內走道環繞式：無塵室設在外圍，而走道設在內部，這種走道的潔淨度級別一般需較高，甚至和無塵室同樣的等級，此外無塵室設在外圍時，需注意並無外窗設置。
3、兩端式：無塵室設在一邊，另一邊設準無塵和支援系統區
4、核心式：為了節約用地、縮短管線，可以將無塵區設在中心，上下左右被各種輔助房和隱蔽管道的空間包圍起來，減少與外氣的熱交換。
無塵室的安全問題
1、無塵室是一種無窗，且密閉結構要求高的建築物，而內部人員流動路線複雜，但無塵區內地廣人少，所以當事故發生時，為了便於疏散，應在無塵室至少設兩個不靠近的安全出口，可是在平時需嚴加密封。
2、安全出口間需用安全通道連接起來。此外，要假設發生事故時，確實防止面向安全通道的裝置和台架倒下來，而如果化學物品類到下來後流到地下，堵塞了通道了，則通道即失去作用。
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