台南家防滑
台積電（2330）積極推動綠色供應鏈，隨原物料需求跟著產能增加持續成長，為確保製程關鍵材料氫氟酸穩定供應並友善環境，攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有製程品質下成功產製。台積電揭露，截至今年2月已導入晶圓十二A廠、晶圓十五A廠，減少螢石用量、減碳317公噸，其他十二吋晶圓廠區亦同步進行試產，預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸，相當於58座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量。
台積電攜手供應商以磷肥廢料替代螢石，在不影響原有製程品質下成功產製。預計全面導入後1年可減碳逾2萬公噸。圖／取自台積電官網
台南家防滑氫氟酸是半導體濕式蝕刻製程重要化學品，一般以螢石為原料，但因取得不易且精煉程序繁複，產製過程較難降低碳排放量；台積電近年積極扶植國內供應鏈，綠色低碳供應鏈也是ESG重要一環。
2021年台積電與供應商合作投入氫氟酸替代原料可行性研究，利用磷肥產製過程衍生的廢料氟矽酸搭配硫酸進行化學反應後產製氫氟酸，為使品質符合半導體製程標準，除輔導供應商提前於進料階段即提供品質保證證明（CoA）外，同時協助其開發獨立產線進行測試，經反覆調整達製程最適化，確保後續生產品質無虞。
台積電說，積極輔導供應商擴大使用磷肥廢料產製氫氟酸，預計2024年底完成第二條獨立產線後，可再降低螢石用量，總計減碳逾4萬公噸。
另外，台積電也指出，除精進原料品質，也持續尋求永續使用的改善機會點，由品質暨可靠性組織持續與各廠合作，進行電子級硫酸及電子級異丙醇內循環再利用、氫氟酸氣體廢料再製氟氣的評估，同時輔導供應商開發相關技術，朝資源永續再生目標邁進。
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