工研院24日宣布將獨步全球的「新世代溶液奈米粒子監測系統-SuperSizer」技術移轉給新創公司-兆晟奈米科技，共同與半導體自動檢測大廠致茂電子（2360），攜手打造半導體前段高階製程，以「鷹眼級」的微縮製程檢測服務直接造福半導體產業，強化傲視群雄國際競爭力。
這也是台灣半導體產業再添新利器，由工研院攜手半導體產業挺進高階測試解決方案，可24小時量測的粒子範圍囊括5至1,000奈米，遠優於業界約20奈米的監測水準。
兆晟最大股東的致茂董事長黃欽明說：「將斥資2億元在竹科設廠，結合致茂的前段製程，目標一年內投產，應用還可涵及生醫、製藥產業。」
身兼兆晟董事長的黃欽明表示，新世代溶液奈米粒子監測系統是非常創新的技術，與致茂共同切入半導體前段製程檢測，資本額將從2,000萬元增至2億元。半導體製程已推進至7奈米
、3奈米，而良率更是先進製程的主戰場，有效監管、檢測雜散的奈米粒子、並加以控制，對半導體製程良率提升將有很大的貢獻。
黃欽明說：「半導體製程良率提升1%，獲利將可提升8%，成果驚人。奈米粒子檢測潛力無窮，半導體外，生醫、製藥都是可應用範圍，兆晟做為致茂一份子，其核心符合世界級產品定義的精準、可靠、獨特，以此進軍國際市場，將會是另一個台灣之光。」
經濟部技術處技正林浩鉅指出，台灣半導體產業為全球前三大，對我國GDP直接貢獻度約8%，由半導體延伸出去的廣義電子產業更達到GDP的30%以上。技術處支持SuperSizer建置試量產能力、完成設備安全驗證、進行新創事業籌備，藉由科專計畫補足產業化最後一哩路，也是科技專案產業化成果的典範。
工研院院長劉仲明說，SuperSizer技術曾在2015年入圍全球RD 100 Awards，將這項前瞻技術技轉新創兆晟，期許發揚光大，成為世界級頂尖的公司。
工研院量測中心主任林增耀強調，SuperSizer檢測技術明察秋毫，可連續24小時線上監測研磨液、雙氧水及超純水等化學溶液中粒子的大小與濃度，可量測的粒子範圍囊括5至1,000奈米，若半導體製程可減少20奈米以下的微粒汙染，每提升0.1%良率，預估可增加淨利600萬美元；SuperSizer創新研發技術、產業效益備受國際矚目。
展望未來，兆晟規畫將SuperSizer技術擴大應用，除提供半導體產業化學原料供應商的檢測服務以外，同時加速研發氣膠粒子監測，將檢測服務從半導體跨界至奈米製藥需求、空氣品質和環境品質監測，開創更多元的附加價值。工研院與兆晟奈米科技進行半導體檢測技術-「SuperSizer」簽約合作，攜手半導體產業挺進高階測試解決方案。左起為工研院量測中心主任林增耀、院長劉仲明，及致茂兼兆晟董事長黃欽明。記者張義宮／攝影 分享
文章定位：
