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2004-05-29 13:32:50| 人氣184| 回應0 | 上一篇 | 下一篇

台積電八吋設備分批運往上海

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徐仁全／新竹報導　台積電七廠八吋晶圓製造設備近日已悄悄打包運往上海，據了解，昨(二十六)日凌晨開始八吋設備陸續打包上車，運往中正機場，等待出關運往上海去。

由於設備多達數百台，且大小不一，全數運送完畢預估須一個月的時間。
台積電為趕在今年年底上海松江廠量產時程，在取得政府許可後，近日已開始運送相關八吋設備到上海去。由於半導體設備諸多，以月產能一萬片規模來計算，大小機台加起來也達數百台，不可能全數一次運送出去，故分批分次運送。

　據了解，近月以來，台積電七廠設備就陸續打包，完成待命。昨日凌晨開始算是正式上路，將重要機台運往中正機場，由港龍航空搭載運往上海浦東機場。由於大型機台需由氣墊式拖板車運送，利用凌晨時刻高速公路車輛較少的時間運送，不易塞車也不至影響交通，也可避開外界過多的關注動作。

　依半導體製程來看，機台設備分為蝕刻、顯影、離子植入、研磨及清洗等，其中較大型及較重的機台以顯影及蝕刻為主，價值也都在億元計，搬運自然要十分小心。以數百台的設備來看，全數運完應要花上三至四週，不會一、兩天就結束。

　而台積電七廠現仍有八吋設備，月產能在一萬多片，並非移出八吋設備後七廠就停滯，沒有生產線。而是將過去閒置在七廠的八吋設備運出，並不會影響現有的產能，也不是七廠產能就此空出，員工也不會受影響。

　負責此次台積電機台運送、報關的是驊洲運通，搭配港龍航空一起承接此案，也因港龍航空可直接轉往大陸，不需再轉機，故被選為此次台積電運送八吋設備到上海的航空公司。

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