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台灣電鏡攻顯微鏡 液態技術 練出火眼金睛

為了替台灣尋找經濟新動能，經濟日報推出「創業超新星」系列專題報導，本系列介紹台灣最具創新能力的新秀，報導這些新創公司的優勢及潛力，讓其價值被外界看見，獲得更多資源挹注，成為未來台灣經濟發展的中流砥柱。

台灣電鏡儀器（temic）公司是衍生自國立清華大學陳福榮教授指導的電鏡團隊，2013年勇奪科技部（原國科會）的「創新創業激勵計畫（FITI）」優勝，獲得200萬元的創業基金，從此開啟了台灣電鏡專注於發展桌上型液態電子顯微鏡產品及服務的創業之路。

台灣電鏡儀器2017年進駐竹科矽導研發中心，推出新一代桌上型電子顯微鏡EM200S。這款新產品突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制，同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡，能對精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測，大為降低建置奈微米分析設備成本，提供更創新有效的解決方案。

台灣電鏡董事長林俊吉表示，台灣電鏡延伸清華大學電鏡團隊的核心技術，並在工研院創新育成的加持下，鏈結漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗，將在核心規格與創新功能上不斷努力研發，並以「液態檢測電鏡領航專家」自詡，訂定目標為全球產業提供「40奈米以下液體粒子檢出」與「濕式製程監控」的優勢技術，並供應最具性價比的小型電子束檢測設備。

電子顯微鏡是許多科學研究和工業製程的重要基礎設備，可提供較一般光學顯微鏡更高的放大倍率，獲取更清晰的影像，掌握物質的實際狀況與變化。然而，電子顯微鏡技術長期為國外大廠所把持，台灣電鏡儀器在掌握小型化及液態電子束等技術後，逐步建立產品特色。

林俊吉表示，台灣電鏡儀器結合產、政、學、研的能量，進駐竹科以就近服務科技業，協助產業解決問題和提高品質管理為定位，要創造獨特的利基市場。

2013年，台灣電鏡儀器以新創公司之姿進駐工研院育成中心，除了與工研院展開技術合作之外，更獲得工研院創新公司的初始投資。雙方更以共同合作開發的「流體螢光共顯微電子顯微鏡」技術，一舉獲得第12屆國家新創獎。

台灣電鏡儀器創辦人、清華大學講座教授陳福榮表示，台灣電鏡儀器產品不論在規格或影像品質上，都已接近市場領先者。未來除繼續提升技術外，還要在市場業務與行銷推廣上著力。

桌上型液態電鏡技術的特色，是小型化、成本低，以業界需求為主要出發點，成為市場競爭一大優勢。台灣電鏡最新推出的桌上型電子顯微鏡「EM200S」，是針對工業使用的桌上型電子顯微鏡，同時具備掃描與穿透功能，除了能夠檢測元素的組成，還能運用軟體進行定量分析。最特別的地方在於能觀察檢測液態的樣品與特徵，包括運用電子光學設計與非真空技術，樣品不需處於真空狀態，直接觀測維持在濕潤、懸浮或流動性質的液相物料，而且只需這一台電鏡儀器就能檢測塊材、粉體、膠體、流體等多樣類型的樣品。

台灣電鏡總經理黃祖緯指出，以往液態電子顯微鏡應用多以學界研究為主，主要限於大型穿透電子顯微鏡，與所搭載的電子顯微鏡系統整合度較低。台灣電鏡儀器自主開發的液態電鏡技術，能夠小型化、大幅降低成本；輔以業界需求設計整合軟體的檢測方案，成為市場競爭的一大優勢。已為客戶提供液態顯微電鏡產品及客製性分析服

MIT電子顯微鏡大突破　台灣電鏡搶攻化工醫材市場

由科技部創新創業激勵計劃優勝團隊的台灣電鏡儀器，今日在矽導研發中心盛大開幕，並正式推出新一代的桌上型電子顯微鏡EM200S，除了突破過去電子顯微鏡無法觀察含水樣品的限制，並領先同時搭載掃描式與穿透式的桌上型電子顯微鏡，能對於精密零件掃描或複雜的化學製程動態過程進行檢測，並大為降低建置奈微米分析設備成本，為產業提供全新的解決方案。

台灣電鏡董事長林俊吉表示，台灣電鏡延伸清華大學電鏡團隊的核心技術，並在工研院創新育成的加持下，鍊結漢民科技在半導體設備的開發管理與服務經驗，將在核心規格與創新功能上不斷努力研發，並以液態檢測電鏡領航專家自詡，訂定目標為全球產業提供40奈米以下液體粒子檢出與濕式製程監控的優勢技術，並提供最具性價比的小型電子束檢測設備。

工研院協理段家瑞表示，工研院積極推動以科技創新創業來協助產業轉型優化，四年前看到充滿潛力的清大電鏡團隊，看準傳統電子顯微鏡有體積龐大、售價高的缺點，希望能運用自身的關鍵技術勇敢逐夢，投入桌上型電子顯微鏡的產業市場。

工研院樂見這樣潛力的創新，將自有的「流體輸送控制」與「光學顯微」技術與其結合以增加其對液態電子束分析上的能量，新創出能在液態下連續檢測以及結合螢光共顯微的嶄新功能。

此外，透過工研院創新工業技術移轉股份有限公司(ITIC)的挹注，促使這些關鍵技術與潛力的創新能夠真正商品化，完成創業的最後一哩路。

本次新發表的EM200S是第一台搭載掃描式與掃描穿透式雙影像偵測器(SEM/STEM)的桌上型電子顯微鏡，結合特殊的直接液態檢測技術(採用對電子束透明的特殊薄膜，將液體或揮發性軟物質保存於真空中)，0903-071-871陳先生可同時滿足微米結構掃描量測與奈米粒子穿透分析，一台設備可檢測從塊材、粉體、膠體乃致流體的廣泛樣品類型，體積卻是傳統電子顯微鏡的五分之一，並深具價格優勢。

在半導體與電子製程檢測、生技製藥與醫材檢測與化工塗料檢測上皆有廣泛的應用。

最新開發的DirectLiquid直接液態檢測裝置，具備可調整液體下景深距離的功能，是第一個可實現微奈米金屬蝕刻即時觀測的產品，搭配自主開發的分析軟體，對於面板/電子業的金屬線寬蝕刻或電鍍等精密製程是非常有價值的解決方案。

台灣電鏡Nereuscope獲國家新創獎

第12屆國家新創獎得主中，唯一一家儀器設備開發商─台灣電鏡儀器(TEMIC)，同時也是台灣第一家100%自有電子顯微鏡研發製造技術的公司，是以全球唯一能結合「流體」以及「螢光」技術的掃描電子顯微鏡─Nereuscope，獲得評審肯定。

總經理黃祖緯表示，台灣電鏡儀器與工研院量測中心合作開發的「Nereuscope流體螢光共顯微電子顯微鏡」（Nereus取自希臘神話「海神」之意），突破過去無法觀察含水樣品的限制，可在電子顯微鏡中模擬培養細胞的環境，0903-071-87 陳R，並即時穩定地控制液體的流速、濃度與溫度，更可附加生醫檢測常用的螢光顯微功能，從此打破電子束檢測與光學檢測之間的藩籬。

Nereuscope流體螢光共顯微電子顯微鏡」目標提供生醫材產業40nm以下的液相解析能力。除台灣與大陸外，即將布局北美與日本市場。

台灣電鏡團隊的前身，是曾獲得科技部創新創業激勵計畫優勝的清華大學電子顯微鏡團隊。創辦人工程與系統科學系陳福榮教授指出，自2008年啟動電子顯微鏡自研發的契機，就是不樂見歐美日長期把持尖端儀器輸出，台灣唯有掌握科學儀器研發製造才能加速自身科技的發展。

公司簡介

台灣電鏡儀器(temic)，是華人第一家以桌上型電子顯微鏡為產品主體的研發製造公司，九成以上零組件在台灣製造。現進駐於工研院光復院區，為兩岸產學研各界提供多功能易使用的電子顯微鏡產品以及創新的液體樣品奈米檢測方案。

前身為國立清華大學的電子顯微鏡研究團隊，自2008年起歷經漫長的原型發展，終於取得產品化的契機，在工研院的支持下以公司的形式正式成立於2013年7月，並獲得科技部創新創業激勵計畫(FITI)競賽優勝、科技部「奈米科技傑出新創公司獎」與新竹管理局「竹科之星」獎項。

清華大學團隊的核心技術，透過台灣電鏡儀器實現商品化，並在工研院挹注下進行價值創造，要共同完成跨領域的整合創新，持續以台灣自製精密儀器的信念向前邁進。