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暉盛新廠 台南台日創新園區動土

電漿設備大廠—暉盛科技，挾優越電漿技術開發能力，近年來布局產業有成，除成功進入美系半導體大廠供應鏈，並取得國際通訊大廠合作機會，再加上歐洲及亞太地區訂單持續放量，因應營運成長力道需求，30日於台南台日創新園區TJ-Park舉行新廠動土典禮，邀請臺南市副市長許育典、經發局副局長蕭富仁、經濟部工業局南區處執行長林怡妏一同與會，場面簡單隆重。

　　暉盛科技董事長宋俊毅表示，近年來，暉盛科技挾先進電漿技術及優越的設備開發能力，長期深耕台灣半導體、印刷電路板、光電等產業領域，近年來更積極布局歐美、日本及大中華地區等市場，並將電漿設備與解決方案，成功打進英特爾（Intel）、蘋果（Apple）及高通（Qualcomm）等世界大廠供應鏈。

　　而此次動土新廠基地面積占地2,000坪，分兩期建設，第1期投資約58億元，預定110年5月完工，屆時亦可創造年營收10億元以上產值。

　　此外，暉盛全系列產品也與日本代理商（日立先端科技），搭建合作平台，成功拿下多加日系軟板、IC載板大廠訂單，為進一步提升彼此關係，日立先端科技也在去年底正式入股暉盛，為雙方合作締造新猷。

　　暉盛科技總經理許嘉元博士表示，近年來印刷電路板市場需求朝向高密度、高整合（InFO）、高頻高速之發展，在新材料開發與新技術發展，皆需仰賴高附加價值的電漿技術解決方案。

暉盛電漿設備 引領智動化主流

電漿設備大廠-暉盛科技，以優越電漿製程及設備開發能力，相繼搶進美系半導體、行動裝置以及通訊大廠供應鏈，同時在與日立先端（Hitachi Hightech）所建立的代理合作及市場開發技術平台後，近年來，更連續獲得數家日系軟性印刷電路板及IC載板大廠訂單，營收看俏。

　　暉盛科技總經理許嘉元表示，專為下一世代印刷電路板薄型化、細線路、雷鑽孔洞高縱橫比及高產出的需求，分別開發出軟性印刷電路板業界所需的卷對卷電漿去膠渣機（Reel-to-Reel plasma desmear），其最大可處理板厚範圍（13~200um）、最快產速（5m/min）、最快蝕刻速率（PI或LCP：1.0um/mim 在5m/min的產速下）及處理溫度最低（<80度）等特性。

　　此外還有具高縱橫比（40：1）、低製程溫度（<60度）、高蝕刻速率（PI可達1.0um/min）、高蝕刻均勻性（>95%）及最大產能（1.5 pieces/min）的批次式/連續式電漿去膠渣機（Batch / in-line plasma desmear）。以及應用在細線路非等向性蝕刻上的RIE（Reactive ion etching）電漿去膠渣機，提升電鍍填孔良率（>95%）以及增加膜層附著力的連續式大氣電漿處理設備（AP Plasma/JET, direct and remote type）等四大主軸設備。

　　許嘉元指出，目前暉盛所推出的電漿設備，具多款自動化設計，包括 Robot入出料、產品自動上治具、自動投料達到無人生產。輔以在控制及資料收集方面，可與MES/CIM連線進行Full-Control，擁有多種通訊協定，可接續各產業CIM系統，符合全自動化產線需求，將成為下一波電漿製程設備主流。

獲半導體大廠肯定 暉盛營收躍升

電漿設備大廠－暉盛科技，挾優越電漿製程開發能力，近年來布局產業有成，成功成為美系半導體及行動裝置大廠供應鏈，並取得與美系通訊大廠合作機會，提供新製程開發解決方案，再加上歐洲及亞洲區訂單持續放量，公司整體營收將續創新高。

暉盛科技總經理許嘉元博士表示，暉盛所生產的批次式電漿清洗機，採用專利高密度電漿技術，因高產能、具各式基板、各種製程適用性以及低運作成本等特點受到青睞，讓暉盛成為封裝電漿清洗機的主流品牌。

此外，產業的自動化生產逐漸提升為智慧生產，包括符合工業4.0的設計框架，提升到可遠端控制及數據收集。目前暉盛推出的連續型電漿清洗機，可符合全自動化產線需求，同時可獲得較佳的清潔效果及均勻度。

安規部分，不僅獲取TUV認證，在機械設計及電控設計上，亦符合IEC及SEMI等規範。連續式設計可串接上下游，支援標準介面及通訊協議，包含SEMI E84、SMEMA，在控制及資料收集方面可與MES╱CIM連線進行Full-Control，擁有多種通訊協定可接續各產業CIM系統，更符合智慧製造的工業4.0未來，也將成為下一波電漿製程設備主流。

許嘉元博士指出，在半導體封裝上，暉盛已掌握FOWLP扇出形晶圓級封裝關鍵技術，可提供FOWLP清洗解決方案；而在電路板上，暉盛同步成功開發出高效能批次式、連續式及捲對捲式電漿去膠渣機，不僅蝕刻速率可提升3倍，捲對捲生產速度更高達5m/min，同為業界最高，而該設備也可提供MSAP等極細線路製造所需要的hand-free、高蝕刻速率及高均勻度的解決方案，其中捲對捲電漿設備已成為狂銷日本FPC大廠的熱門設備。

公司簡介

暉盛科技股份有限公司掌握特殊優越的技術及堅強的研發團隊，係以研發先進電漿技術為主軸，以尖端技術服務為宗旨。